SC Ultra

Gelişmiş Yarıiletkenler için Yüksek Performanslı Manyetik Sektör SIMS'leri

CAMECA SC Ultra, gelişmiş yarıiletkenlerde dinamik SIMS ölçümleri için ihtiyaçları karşılamak üzere özel olarak tasarlanmıştır.

CAMECA, kalın yapılar için yüksek enerji (keV aralığı) ile ultra-ince yapılar için Ultra-Düşük Enerjiye (≤ 150eV) kadar geniş bir darbe enerjisi ile örnekleri püskürtme yeteneğine sahip bir SIMS aleti geliştirmiştir.