PHI 710 — Yüksek Çözünürlüklü Auger Elektron Spektrometresi (AES)

PHI 710, nanometre seviyesinde yüzey kimyası ve elementel analiz için tasarlanmış, ileri düzey Auger Elektron Spektroskopisi (AES) sistemidir. Malzemelerin yüzey kompozisyonunu, kimyasal bağ durumunu ve mikroyapısal özelliklerini yüksek hassasiyetle karakterize eder.

Temel Özellikler

Yüksek Mekansal Çözünürlük: ≤ 10 nm çözünürlük ile nano ölçekli analiz.
Çoklu Analiz Modları: AES, SEM (Taramalı Elektron Mikroskobu) ve EDX (Enerji Dağılımı X-Işını Spektroskopisi) entegrasyonu.
Derinlik Profilleme: İyon tabancası ile katmanlı yapıların derinlik bazlı analizi.
Geniş Enerji Aralığı: 0–10 keV aralığında elementel ve kimyasal haritalandırma.
Otomatik Hizalama: PHI SmartAlign™ yazılımı ile hassas ışın odaklama.

Uygulama Alanları

Malzeme Bilimi: Metal alaşımlar, kaplamalar ve ince filmlerin yüzey kimyası.
Yarı İletken Analizi: Entegre devrelerde kontaminasyon ve kırılma analizi.
Korozyon Araştırmaları: Yüzey oksidasyonu ve korozyon mekanizmalarının incelenmesi.
Nanoteknoloji: Nanoparçacıkların ve nano kaplamaların elementel dağılımı.
Kalite Kontrol: Üretim hatlarında yüzey safsızlıklarının tespiti.

Teknik Özellikler

Elektron Kaynağı: Schottky alan emisyonlu elektron tabancası.
Analizör: Küresel silindirik analizör (CMA) ile yüksek enerji çözünürlüğü.
Vakum Sistemi: Temel basınç < 5×10⁻¹⁰ Torr.
Örnek Boyutu: 150 mm çapa kadar örnekler.
Detektörler: Çok kanallı dedektör ile hızlı veri toplama.

Neden PHI 710?

Üstün Hassasiyet: Düşük konsantrasyonlu elementlerin (%0.1 seviyesi) tespiti.
Endüstriyel Dayanıklılık: Ağır kullanım için optimize edilmiş tasarım.
Entegre Görüntüleme: SEM ve AES verilerinin eş zamanlı analizi.
Global Servis Ağı: PHI’nin uzman ekipleriyle teknik destek.